InP基四元量子阱中离子注入诱导混合的研究

时间：2011-11-08

在这项工作中，研究了质子和砷离子注入在AlInGaAs/InGaAs量子阱（QW）中诱导的混合，并将其与InGaAsP/IGaAs QW进行了比较。基于热退火研究、不同的注入离子种类、势垒层的动态退火效应以及相互扩散机制，对两种QW结构获得的不同相互扩散结果进行了比较和讨论。