一种锗硅雪崩光电探测器

介绍

雪崩光电探测器是对雪崩信号进行探测的仪器，随着全球信息数据量的爆炸式增长，对高速光纤通信系统提出了越来越高的要求。各种先进调制格式、多维复用方式的应用极大的提高了光纤通信系统的传输速率和传输容量，通过设置的埋氧层、掺杂硅顶层和硅衬底层，通过以埋氧层、掺杂硅顶层和硅衬底层形成硅衬基层，再与锗硅探测层和硅波导层结合集成光电探测器，兼顾了硅基光电子集成和对光通讯波段的高效探测，能够高效对雪崩信号进行探测，采用集成式探测器，不仅体积更加小巧，并且功耗低，有效降低成本的同时，提高了探测效率。